據(jù)麥姆1、醫(yī)療設(shè)備：例如，家庭中，被稱為持續(xù)正壓通氣（CPAP）的小型機(jī)器就是利用流量傳感器來(lái)幫助用戶調(diào)節(jié)氣流，這種方法有助于治療睡眠呼吸暫停。

2、住宅計(jì)量：流量傳感器常用于世界各地的房屋和建筑中的天然氣測(cè)量和計(jì)算。

3、電器：DP存在于住宅、商業(yè)及工業(yè)氣體等各類燃燒器中，用于控制氣體流向燃燒系統(tǒng)。它們也存在于暖通空調(diào)系統(tǒng)（HVAC systems）中，用于操控特定區(qū)域的加熱和冷卻。

4、工業(yè)元器件：閥門(mén)、泵和工業(yè)中的其他基本構(gòu)件通常需要精確可靠的流量和DP測(cè)量。

5、物聯(lián)網(wǎng)（IoT）：IoT創(chuàng)造了需要高精度的用于空氣質(zhì)量和氣流測(cè)量的新型智能消費(fèi)設(shè)備。這些設(shè)備將粒子計(jì)數(shù)器與氣流測(cè)量相結(jié)合，來(lái)測(cè)量空氣中微小的pm2.5顆粒的數(shù)量。已有證據(jù)表明，大量pm2.5顆粒會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的兒童健康問(wèn)題。

MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)，Micro-electrical Mechanical Systems）是廣泛使用的、可在硅中創(chuàng)建結(jié)構(gòu)的工藝。下圖呈現(xiàn)了熱工作原理（如圖1）。通過(guò)以下示意圖，可以更好地理解熱MEMS壓力傳感。

MEMS流量傳感器可利用單個(gè)或多個(gè)加熱器和溫度傳感器來(lái)制造。一種簡(jiǎn)單的制造方法就是兩個(gè)溫度傳感器圍繞一個(gè)加熱器，并對(duì)稱地放置在左右兩邊。當(dāng)加熱器（即電阻）通過(guò)電流加熱時(shí)，加熱器周圍就會(huì)形成穩(wěn)態(tài)溫度曲線。當(dāng)氣體（介質(zhì)）不流動(dòng)時(shí)，對(duì)稱的兩個(gè)溫度傳感器就會(huì)檢測(cè)到相同的溫度。當(dāng)氣體流動(dòng)時(shí)（如從左到右），熱空氣從左向右吹，此時(shí)，傳感器的溫度讀數(shù)就是右邊高于左邊。由于溫差與流速成正比（低流速時(shí)呈線性&高流速時(shí)呈非線性），我們可通過(guò)測(cè)量?jī)蓚€(gè)溫度傳感器的溫差來(lái)確定流量。

1、氣體類型；

2、精確度；

3、連接機(jī)制和高度修正。

在選擇氣體傳感器目前有兩種方法可以確定流量或差速測(cè)量設(shè)備的準(zhǔn)確性是否符合需求。其中一種方法，也是最簡(jiǎn)單的方法，是考慮制造商的總精度規(guī)范。該規(guī)范結(jié)合了最初的偏移量和跨度誤差，以及受溫度和其他細(xì)微影響的變化。

如果這個(gè)誤差對(duì)于預(yù)期應(yīng)用來(lái)說(shuō)太大，那么就有必要分開(kāi)考慮每種誤差了。在眾多應(yīng)用中，一旦安裝了設(shè)備，就可以消除初始偏誤，以減少總誤差估計(jì)。在其他應(yīng)用中，所需的范圍可能比設(shè)備規(guī)范要小，因此跨度誤差的貢獻(xiàn)也可能小于總誤差規(guī)范所包含的范圍。

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