? ?壓覺傳感器實際是接觸傳感器的引伸。目前，壓覺傳感器主要有如下幾類：

? ? ? ?1.利用某些材料的內阻隨壓力變化而變化的壓阻效應，制成壓阻器件，將它們密集配置成陣列，即可檢測壓力的分布。如壓敏導電橡膠或塑料等。

? ? ? ?2.利用壓電效應器件．如壓電晶體等，將它們制成類似人的皮膚的壓電薄膜，感知外界壓力。它的優(yōu)點是耐腐蝕、頻帶寬和靈敏度高等；但缺點是無直流響應，不能直接檢測靜態(tài)信號。????

? ? ? ?3.利用半導體力敏器件與信號電路構成集成壓敏傳感器。常用的有三種：壓電型(如

ZnO／Si-IC)、電阻型SIR(硅集成)和電容型SIC。其優(yōu)點是體積小、成本低、便于同計算機接口，缺點是耐壓負載差、不柔軟。

? ? ? ?4.利用壓磁傳感器、掃描電路與針式差動變壓器式接觸覺傳感器構成壓覺傳感器。壓磁器件有較強的過載能力，但體積較大。

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? ? ? ?如圖上圖是用半導體技術制成的高密度智能壓覺傳感器，它是一種很有發(fā)展前途的壓覺傳感器。其中壓阻式和電容式使用最多。雖然，壓阻式器件比電容式器件的線性好，封裝簡單，但是壓阻器件的壓力靈敏度要比電容器件小一個數量級，溫度靈敏度比電容器件大一個數量級。因此，電容式壓覺傳感器，特別是硅電容壓覺傳感器得到廣泛應用。

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